產(chǎn)品特點：

· 轉(zhuǎn)子型線設(shè)計，具有真空度高；

· 無潤滑油，實現(xiàn)高潔凈真空；

· 螺距轉(zhuǎn)子有良好幾何對稱性，實現(xiàn)低噪音、高壽命；

· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰塵、有毒等多種氣體，不會滯留在泵腔內(nèi)，適用于惡劣的應(yīng)用場合；

· 特殊軸承設(shè)計，振動低，并且擁有強的啟動可靠性，尤其適合苛刻的工藝制程；

· 獨特密封方式，具有很強地密封性能及超長的使用壽命性；

· 特殊電機，提高運行可靠性，延長使用壽命并降低維護成本；

· 智能控制系統(tǒng)設(shè)計，使用智能編程可實現(xiàn)面板按鈕一鍵啟停 , 實現(xiàn)遠程控制和監(jiān)控功能；

· 結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊，零部件少、易維護。

產(chǎn)品應(yīng)用

冶金

真空釬焊、電子束焊接、氮碳共滲、低壓滲氮、低壓滲碳、化學(xué)氣相浸漬、燒結(jié)、金屬注射成型、熔模鑄造、電渣重熔、真空感應(yīng)熔煉、真空電弧精煉、鋼液脫氣等。

鍍膜

卷繞鍍膜、硬質(zhì)鍍膜 (CVD/DLC)、表面活化、等離子噴涂、玻璃鍍膜等。

干燥

冷凍干燥、套管填充、變壓器干燥、管道干燥、電容器干燥、鋰電池干燥等。

真空室排氣

空間環(huán)境模擬、氣體回收 / 循環(huán)、真空室抽空等。

等離子工藝

等離子焊接、離子滲碳、等離子蝕刻及清理、等離子清洗等。

太陽能光伏

單晶硅提拉、PV 層壓、LED 制造等。

其它

貼合機、醫(yī)療設(shè)備等。

主要性能指標：

抽速曲線圖：